CVD系列全閉環(huán)控制型特征
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從位置指令結束開始，使用外部傳感器的反饋，通過全閉環(huán)控制進行位置修正。
5相步進電動機驅動器 CVD系列全閉環(huán)控制型
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步進電動機的全閉環(huán)控制
在開始定位時，利用步進電動機的高響應進行開環(huán)控制，從位置指令結束開始，使用外部傳感器的反饋，通過全閉環(huán)控制進行位置修正。
實現高精度定位
通過直接反饋機構位置的全閉環(huán)控制，修正檢測位置相對于指令位置的差分（偏差）。
有助于亞微米以內需要高精度定位的裝置設計。
有助于亞微米以內需要高精度定位的裝置設計。
參考 實測數據
● 空程※1實測數據 |
【測定條件】 螺桿導程1ｍｍ 直線光柵尺分辨率0.1μm 位置范圍：1cnt ※2 采用激光測長測量
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※1 電動機從CW或CCW方向對目標位置進行定位，此時的停止位置相對于旋轉方向的差。
※2 以編碼器脈沖計數1的誤差(-0.2～0.2μm)為目標進行修正。
● 直線光柵尺的分辨率
※2 以編碼器脈沖計數1的誤差(-0.2～0.2μm)為目標進行修正。
● 直線光柵尺的分辨率
