半導(dǎo)體制程相關(guān)設(shè)備
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晶圓旋轉(zhuǎn)主軸工位的坐標(biāo)簡(jiǎn)易管理應(yīng)用 |
提高效率、省空間、驅(qū)動(dòng)大負(fù)載
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晶圓旋轉(zhuǎn)主軸工位：穩(wěn)定緩慢的驅(qū)動(dòng)晶圓旋轉(zhuǎn)
設(shè)備：半導(dǎo)體制程相關(guān)設(shè)備工位：晶圓旋轉(zhuǎn)主軸工位 解決方案：AZ系列步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)步進(jìn)電動(dòng)機(jī) ●絕對(duì)系統(tǒng)·簡(jiǎn)易循環(huán)坐標(biāo) ●一體化·省空間 ●大慣性負(fù)載驅(qū)動(dòng) ●驅(qū)動(dòng)小型化 |
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步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 |
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循環(huán)坐標(biāo)功能設(shè)定，坐標(biāo)管理更簡(jiǎn)易
■機(jī)械式絕對(duì)編碼器·實(shí)現(xiàn)絕對(duì)坐標(biāo)位置管理絕對(duì)式系統(tǒng)位置管理，無(wú)需電池、傳感器等配件。支持高速原點(diǎn)返回、重新上電后的絕對(duì)坐標(biāo)記憶、軟極限設(shè)置、內(nèi)藏定位程序運(yùn)行等。 有助于提升生產(chǎn)效率、節(jié)省安裝空間、降低成本。
循環(huán)功能是在電動(dòng)機(jī)輸出軸的轉(zhuǎn)數(shù)超出設(shè)定的范圍時(shí)，自動(dòng)預(yù)置當(dāng)前位置的位置信息的功能。
應(yīng)用例：
連續(xù)旋轉(zhuǎn)的鍍膜旋轉(zhuǎn)盤(pán)工位，電動(dòng)機(jī)輸出軸每旋轉(zhuǎn)1rev，循環(huán)坐標(biāo)時(shí)，坐標(biāo)將自動(dòng)清零。
連續(xù)旋轉(zhuǎn)的鍍膜旋轉(zhuǎn)盤(pán)工位，電動(dòng)機(jī)輸出軸每旋轉(zhuǎn)1rev，循環(huán)坐標(biāo)時(shí)，坐標(biāo)將自動(dòng)清零。
有助于：
①便捷的確認(rèn)機(jī)構(gòu)/晶圓當(dāng)前位置狀態(tài)； ②避免坐標(biāo)溢出時(shí)的坐標(biāo)數(shù)據(jù)處理難題； ③高效的高速原點(diǎn)返回。 |
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配備減速機(jī)一體化，實(shí)現(xiàn)小型化
■集減速機(jī)+步進(jìn)電動(dòng)機(jī)+編碼器一體化的高精密步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，實(shí)現(xiàn)動(dòng)力機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)更小型化伺服電動(dòng)機(jī)的減速機(jī)靠聯(lián)軸器連結(jié)，步進(jìn)電動(dòng)機(jī)減速機(jī)型實(shí)現(xiàn)一體化、省空間，緊湊簡(jiǎn)潔的設(shè)計(jì)且無(wú)需調(diào)整，可輕易掌握「齒隙」及「精度」。
◇ 驅(qū)動(dòng)大慣性負(fù)載
相同安裝尺寸，步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)慣量值普遍大于伺服電動(dòng)機(jī)，可驅(qū)動(dòng)更大的慣性負(fù)載。
小體積步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器，提升電控空間利用率
■步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器體積更小型化
備有可對(duì)應(yīng)EtherCAT、EtherNet/IP、PROFINET的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器。
體積相比伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器大為縮小。
面向軸數(shù)多、控制柜空間要求嚴(yán)苛的場(chǎng)合，步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器有效節(jié)省設(shè)計(jì)空間，提高設(shè)計(jì)自由度。
備有可對(duì)應(yīng)EtherCAT、EtherNet/IP、PROFINET的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器。
體積相比伺服電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器大為縮小。
面向軸數(shù)多、控制柜空間要求嚴(yán)苛的場(chǎng)合，步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)器有效節(jié)省設(shè)計(jì)空間，提高設(shè)計(jì)自由度。
相關(guān)產(chǎn)品
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