化學機械拋光（CMP）設備應用提案
| CMP設備在轉臺上使用多個擺臂機構，比如將如拋光墊修整器等移動到位的機構。 下面我們將為您介紹CMP機械臂機構的課題解決方案！ |
機械臂機構及主要驅動源
為保證在整個晶圓上均勻分配適量的材料，CMP工藝在材料去除過程中施加不同的力，并精確停止。
因此，為擺臂機構提供精確定位控制非常重要，合理的選用響應快速的驅動源，以避免拋光過多的基材。
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機械臂 轉動 –— DGⅡ系列 省配線與驅動大慣性
目的：將擺臂水平移動定位，以進行拋光或調節(jié)等操作。
中空旋轉式傳動裝置DGⅡ系列可直接安裝大慣性工作臺及機械臂等，可減少機構設計、零件調配、組裝狀態(tài)調節(jié)等花費的時間與費用。
應用：半導體制程（晶圓清洗設備）設備（?點此查看詳細介紹）
旋轉平臺驅動清洗臂擺動，中空設計實現清洗液輸送配管可由中空部輕松通過，設計更緊湊。
目的：將擺臂水平移動定位，以進行拋光或調節(jié)等操作。
中空旋轉式傳動裝置DGⅡ系列可直接安裝大慣性工作臺及機械臂等，可減少機構設計、零件調配、組裝狀態(tài)調節(jié)等花費的時間與費用。
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可驅動多種機械臂規(guī)格·大容許慣性力矩
以下為各規(guī)格可驅動的大致機械臂參考長度及負載質量，實際選用請結合機構尺寸及驅動條件進行綜合選型計算，可進一步洽詢東方馬達。
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應用：半導體制程（晶圓清洗設備）設備（?點此查看詳細介紹）
旋轉平臺驅動清洗臂擺動，中空設計實現清洗液輸送配管可由中空部輕松通過，設計更緊湊。
一體化?大口徑中空孔設計
可直接將負載安裝在旋轉平臺上，不僅省去傳動機構，方便安裝，更能通過中空設計實現由下而上的配線?配管。
大口徑中空孔（貫穿）可用于布線復雜的配線、氣動及液壓配管等場合，使裝置設計更為簡潔。
引申應用：液體分裝設備
中空設計實現液體輸送配管可由中空部通過，管道布置更緊湊。
中空設計實現液體輸送配管可由中空部通過，管道布置更緊湊。
小型化
DGⅡ系列備有電動機垂直組裝型、水平組裝型，可根據裝置內的安裝空間進行選擇。垂直組裝型可將電動機隱藏到安裝板之下，最小僅需35.5mm高度即可安裝負載。
AZ系列產品用于機械臂機構的優(yōu)勢
齒條移動方向（垂直）的應用，實現高反復定位精度，確保物料的準確的頂升。
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●功能安全
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電動升降機械臂的旋轉部時，可使用東方馬達的DRS2系列及EZS系列。 DRS2系列安裝尺寸60㎜，雖機身小巧，但最大能發(fā)揮500N的推力， 適用于小型機械臂旋轉機構的升降軸。
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●搭載AZ系列的便利功能
方便的運行·設定
使用AZ系列的功能，能夠通過中空旋轉式傳動裝置的旋轉平臺執(zhí)行坐標管理，可以實現以下運行：
| ?就近絕對移動縮短生產周期 | ?設定禁止進入范圍使控制簡單 | |
是指朝向設定的目標位置，按移動距離最短的旋轉方向
執(zhí)行驅動的功能。可縮短裝置的生產周期。  |
裝置上有障礙物等時，
可在旋轉平臺上設定禁止進入范圍。  |
縮短裝置啟動時間 出廠時已預設運行中空旋轉式傳動裝置所需參數，可縮短裝置啟動時間。·原點位置
·分辨率設定（0.01°/step）
·旋轉平臺的旋轉方向設定
·Round設定±180°
●各初始設定值可以更改。
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搭載產品
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設備需求和產品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
