晶圓Pin針頂升機構(gòu)的設(shè)計提案
裝置概要
隨著半導(dǎo)體工藝發(fā)展，對設(shè)備的要求也越來越高，對每個軸的動作也愈發(fā)嚴格。小型化、高效率、高精度、低振動……眾多需求在機構(gòu)上的設(shè)計應(yīng)用，以下將為您介紹各類提案：
 *圖示僅供參考，需外置導(dǎo)軌設(shè)計
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實現(xiàn)的動作： 將吸附于平臺上的晶圓片通過Pin針頂起，以便于利用搬運機械手進行取、送晶圓片。
※頂起前，晶圓通過“靜電吸附”、“真空吸附”等方式，附著在平臺上。
• 需要頂起多片晶圓，實現(xiàn)大負載。
• 頂升機構(gòu)希望實現(xiàn)小型化。
• 提升效率，提高產(chǎn)能。
機構(gòu)痛點·難題
• 靜電吸附型平臺，用氣缸頂升PIN針，可能出現(xiàn)“裂片”。• 需要頂起多片晶圓，實現(xiàn)大負載。
• 頂升機構(gòu)希望實現(xiàn)小型化。
• 提升效率，提高產(chǎn)能。
課題：晶圓裂片/晃動、位置偏離
例如：“靜電吸附型”平臺，斷電后會由于靜電殘留，導(dǎo)致晶圓片短時間內(nèi)仍吸附于平臺上。
痛點分析：
采用氣缸為動力源的頂升機構(gòu)，氣缸頂起動作無加速過程：
●突然頂起的瞬間推力過大，便有導(dǎo)致晶圓裂片的可能。
●由于高速升降、起停時不平穩(wěn)，導(dǎo)致晶圓晃動、位置偏離。
解決方案： 改變驅(qū)動方式：氣缸驅(qū)動→電動缸驅(qū)動
小型電動缸采用電動機驅(qū)動，可輕易實現(xiàn)平穩(wěn)加/減速設(shè)定。
即使有靜電殘留、吸力，會因初期有緩慢加速過程，不會對晶圓造成瞬間沖擊。抬升后，平滑的減速、停止過程，實現(xiàn)晶圓平穩(wěn)抬升，同時保證停止精度。
*不改變脈沖輸入設(shè)定，以整步時的移動量、速度自動進行微步驅(qū)動的控制。
注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
例如：“靜電吸附型”平臺，斷電后會由于靜電殘留，導(dǎo)致晶圓片短時間內(nèi)仍吸附于平臺上。
痛點分析：
采用氣缸為動力源的頂升機構(gòu)，氣缸頂起動作無加速過程：
●突然頂起的瞬間推力過大，便有導(dǎo)致晶圓裂片的可能。
●由于高速升降、起停時不平穩(wěn)，導(dǎo)致晶圓晃動、位置偏離。
解決方案： 改變驅(qū)動方式：氣缸驅(qū)動→電動缸驅(qū)動
小型電動缸采用電動機驅(qū)動，可輕易實現(xiàn)平穩(wěn)加/減速設(shè)定。
即使有靜電殘留、吸力，會因初期有緩慢加速過程，不會對晶圓造成瞬間沖擊。抬升后，平滑的減速、停止過程，實現(xiàn)晶圓平穩(wěn)抬升，同時保證停止精度。
適用于微小移動量·高精度定位
| 中空轉(zhuǎn)子和滾珠螺桿螺母一體化的緊小型機體，可實現(xiàn)裝置的小型化。
不需要連接部件，減少因聯(lián)軸器等連結(jié)部件而產(chǎn)生的精度影響，實現(xiàn)更高精度的定位。
●驅(qū)動螺桿分為研磨滾珠螺桿和滾軋滾珠螺桿2種 【最小移動量】0.001mm 【反復(fù)定位精度】 研磨滾珠螺桿：±0.003mm 滾軋滾珠螺桿：±0.01mm
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支持穩(wěn)定、平滑的加/減速設(shè)定
小型電動缸驅(qū)動支持加/減速過程的設(shè)定，同時可利用驅(qū)動器波形監(jiān)控功能監(jiān)控電動機的運行狀態(tài)及輸出信號的狀態(tài)，
助力于裝置的研發(fā)和調(diào)節(jié)等用途。
低速且平滑的動作
采用微步驅(qū)動、平滑驅(qū)動功能*，可抑制低速振動，實現(xiàn)平滑移動。適合穩(wěn)定進給的驅(qū)動軸。*不改變脈沖輸入設(shè)定，以整步時的移動量、速度自動進行微步驅(qū)動的控制。
搭載產(chǎn)品
?點此下載小型電動缸 DR/DRS2系列（搭載AZ系列）產(chǎn)品目錄
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?小型電動缸DR系列（搭載αSTEP AZ系列） 因此無需原點傳感器、限位傳感器等外部傳感器。
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?小型電動缸DRS2系列（搭載αSTEP AZ系列）
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注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
