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晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案

裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高,不易產(chǎn)生交叉污染,逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機(jī)構(gòu)應(yīng)用上,東方馬達(dá)均提供強(qiáng)有力的解決方案。
通過搭載步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品,達(dá)成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計(jì)、裝配的人力和時(shí)間成本等多項(xiàng)課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案:


系統(tǒng)構(gòu)成




噴淋/清洗裝置擺臂工位——升降軸
通過組合高精度的αSTEP AZ系列和滾珠螺桿,在擺臂升降工位上提供了高精度定位的DRS2系列小型電動(dòng)缸應(yīng)用方案,與自行組裝的機(jī)構(gòu)相比,裝置全長縮短、更緊湊。




適用于微小移動(dòng)量·高精度定位
中空轉(zhuǎn)子和滾珠螺桿螺母一體化的緊小型機(jī)體,可實(shí)現(xiàn)裝置的小型化。
由于不需要連接部件,減少因聯(lián)軸器等連結(jié)部件而產(chǎn)生的精度影響,實(shí)現(xiàn)更高精度的定位。


驅(qū)動(dòng)螺桿分為研磨滾珠螺桿和滾軋滾珠螺桿2種
【最小移動(dòng)量】0.001mm
【反復(fù)定位精度】
研磨滾珠螺桿:±0.003mm 
滾軋滾珠螺桿:±0.01mm




減少連結(jié)部件,實(shí)現(xiàn)省空間化

無需直線導(dǎo)軌和連軸器等連結(jié)零件,設(shè)備整體得以小型化。相較于自行組裝的機(jī)構(gòu),所需的零部件大大減少。




節(jié)省設(shè)計(jì)與空間

安裝于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂的升降,

一體化的小型電動(dòng)缸實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)潔設(shè)計(jì),

無需過多的配件設(shè)置,機(jī)構(gòu)緊湊。



免傳感器,無需另設(shè)空間

搭載混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列,除了實(shí)現(xiàn)裝置的小型化、輕量化外,還能夠檢測(cè)管理位置信息、無需原點(diǎn)傳感器、限位傳感器等,節(jié)省了傳感器及配線的設(shè)置,達(dá)到省成本和空間的目的。


斷電時(shí)保護(hù)的帶電磁制動(dòng)
電源OFF時(shí),保持停止位置。帶電磁制動(dòng)規(guī)格的采用,
即使垂直安裝,也不必?fù)?dān)心維護(hù)作業(yè)中工作物掉落。




搭載產(chǎn)品

?小型電動(dòng)缸DR系列(搭載αSTEP AZ系列)
滾珠螺桿與步進(jìn)電動(dòng)機(jī)組合的直動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)裝置。實(shí)現(xiàn)了裝置的小型化、輕量化。
驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)搭載步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEPAZ系列,
AZ系列采用無需電池的絕對(duì)式編碼器(ABZO編碼器),

因此無需原點(diǎn)傳感器、限位傳感器等外部傳感器。


?小型電動(dòng)缸DRS2系列(搭載αSTEP AZ系列)
αSTEP AZ系列電動(dòng)機(jī)與滾珠螺桿一體化,
能夠執(zhí)行直線動(dòng)作的產(chǎn)品。
機(jī)身小巧的同時(shí)適用于微小進(jìn)給·高精度定位。
限位傳感器等外部傳感器。





注意:
本資料僅供參考。選購前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助,請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心(電話:400-820-6516)。


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