晶圓單片清洗設(shè)備應(yīng)用提案
裝置概要
晶圓單片清洗設(shè)備由于工藝效果好、均勻性高，不易產(chǎn)生交叉污染，逐漸成為了半導(dǎo)體制造中的主流濕法清洗設(shè)備。該設(shè)備在晶圓上、下料、CUP升降裝置、噴淋/清洗裝置等機(jī)構(gòu)應(yīng)用上，東方馬達(dá)均提供強(qiáng)有力的解決方案。通過搭載步進(jìn)伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列及其模組化產(chǎn)品，達(dá)成小型化、高精度、節(jié)省設(shè)計(jì)、裝配的人力和時(shí)間成本等多項(xiàng)課題。 以下為您介紹各工位應(yīng)用提案：
噴淋/清洗裝置擺臂工位——旋轉(zhuǎn)軸
中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置DGⅡ系列可直接安裝大慣性工作臺(tái)及機(jī)械臂等，減少機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)、零件調(diào)配、組裝狀態(tài)調(diào)節(jié)等花費(fèi)的時(shí)間與費(fèi)用。
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驅(qū)動(dòng)多種機(jī)械臂規(guī)格·大容許慣性力矩
以下為各規(guī)格可驅(qū)動(dòng)的大致機(jī)械臂參考長(zhǎng)度及負(fù)載質(zhì)量，實(shí)際選用請(qǐng)結(jié)合機(jī)構(gòu)尺寸及驅(qū)動(dòng)條件進(jìn)行綜合選型計(jì)算，可進(jìn)一步洽詢東方馬達(dá)。
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 ? DGM60采用了深槽滾珠軸承。 |
一體化?大口徑中空孔設(shè)計(jì)
可直接將負(fù)載安裝在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，不僅省去傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，方便安裝，更能通過中空設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)由下而上的配線?配管。
大口徑中空孔（貫穿）可用于布線復(fù)雜的配線、氣動(dòng)及液壓配管等場(chǎng)合，使裝置設(shè)計(jì)更為簡(jiǎn)潔。
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大口徑中空孔 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)驅(qū)動(dòng)清洗臂擺動(dòng)，負(fù)載直接安裝于旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上，中空設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)清洗液輸送配管由中空部輕松通過，整體設(shè)計(jì)緊湊，減少因機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)產(chǎn)生空間干涉。 |
搭載AZ系列的便利功能
方便的運(yùn)行·設(shè)定
使用AZ系列的功能，能夠通過中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)執(zhí)行坐標(biāo)管理，可以實(shí)現(xiàn)以下運(yùn)行：
| ?就近絕對(duì)定位運(yùn)行，縮短生產(chǎn)周期 | ?設(shè)定禁止進(jìn)入范圍，使控制簡(jiǎn)單、更安全 | |
指朝向設(shè)定的目標(biāo)位置，按移動(dòng)距離最短的旋轉(zhuǎn)方向執(zhí)行驅(qū)動(dòng)的功能。
可縮短裝置的生產(chǎn)周期。
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裝置上有障礙物等時(shí)，
可在旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上設(shè)定禁止進(jìn)入范圍。  |
縮短裝置啟動(dòng)時(shí)間 出廠時(shí)已預(yù)設(shè)運(yùn)行中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置所需參數(shù)，可縮短裝置啟動(dòng)時(shí)間。·原點(diǎn)位置
·分辨率設(shè)定（0.01°/step）
·旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的旋轉(zhuǎn)方向設(shè)定
·Round設(shè)定±180°
●各初始設(shè)定值支持更改。
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搭載產(chǎn)品
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?中空旋轉(zhuǎn)式傳動(dòng)裝置 DGII系列 傳動(dòng)裝置內(nèi)部為減速機(jī)構(gòu)，因此可進(jìn)行高輸出功率驅(qū)動(dòng)。
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注意：
本資料僅供參考。選購(gòu)前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
