晶棒生長(zhǎng)設(shè)備
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步進(jìn)電動(dòng)機(jī)助力晶棒緩慢生長(zhǎng)的應(yīng)用 |
小型化 、 大容許
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晶棒生長(zhǎng)設(shè)備：穩(wěn)定低速的對(duì)晶棒進(jìn)行提拉和旋轉(zhuǎn)
設(shè)備：晶棒生長(zhǎng)設(shè)備機(jī)構(gòu)：電動(dòng)機(jī)卷繞提拉與直連旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu) 動(dòng)作概況：通過(guò)兩臺(tái)電動(dòng)機(jī)配合動(dòng)作，輔助晶棒生長(zhǎng)。 ①一臺(tái)電動(dòng)機(jī)通過(guò)繩索緩慢提拉已經(jīng)長(zhǎng)成的晶棒，輔助晶棒生長(zhǎng)后的提??； ②另一臺(tái)電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)提拉工位和提拉著的晶棒原地旋轉(zhuǎn)，確保生長(zhǎng)平面的均勻度。 |
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步進(jìn)電動(dòng)機(jī)諧波減速機(jī) |
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配備諧波減速機(jī)一體化，實(shí)現(xiàn)小型化與穩(wěn)定控制
■集減速機(jī)+步進(jìn)電動(dòng)機(jī)+編碼器一體化的高精密步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，實(shí)現(xiàn)動(dòng)力機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)更小型化。
伺服電動(dòng)機(jī)的減速機(jī)靠聯(lián)軸器聯(lián)結(jié)，步進(jìn)電動(dòng)機(jī)減速機(jī)型實(shí)現(xiàn)一體化、省空間，緊湊簡(jiǎn)潔的設(shè)計(jì)且無(wú)需調(diào)整可輕易掌握「齒隙」及「精度」。
■掌握溫度變化，有助于預(yù)知保全。
預(yù)防由環(huán)境溫度、電動(dòng)機(jī)運(yùn)行狀況等所引發(fā)的“電動(dòng)機(jī)過(guò)熱”報(bào)警輸出，避免因溫度報(bào)警導(dǎo)致意外停機(jī)而影響長(zhǎng)晶。
可根據(jù)INFO輸出進(jìn)行提前干預(yù)。
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大減速比諧波減速機(jī)，提高大容許轉(zhuǎn)矩與慣量
■輸出大轉(zhuǎn)矩與大轉(zhuǎn)動(dòng)慣量晶棒的長(zhǎng)度和質(zhì)量隨著晶棒的生長(zhǎng)而隨之增加（參考：12寸成型晶棒的長(zhǎng)度約2-3m，質(zhì)量可達(dá)400kg以上。），
因此在提拉和旋轉(zhuǎn)動(dòng)作后期，均需要克服較大的負(fù)載轉(zhuǎn)矩和負(fù)載轉(zhuǎn)動(dòng)慣量進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。
諧波減速機(jī)型安裝尺寸90mm最大勵(lì)磁轉(zhuǎn)矩：
（單位：10^-7kg·m^2)
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晶棒的生長(zhǎng)速度緩慢： 大幅提升負(fù)載轉(zhuǎn)矩和容許轉(zhuǎn)動(dòng)慣量； 在晶棒生長(zhǎng)應(yīng)用上，充分發(fā)揮了減速機(jī)型步進(jìn)電動(dòng)機(jī)低轉(zhuǎn)速、 高轉(zhuǎn)矩的優(yōu)勢(shì)。
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連續(xù)運(yùn)行與滿足需求的速度區(qū)間
■連續(xù)運(yùn)行*（高頻度運(yùn)行），適合晶棒長(zhǎng)時(shí)間的生長(zhǎng)過(guò)程應(yīng)用。
| 通過(guò)采用高效率電動(dòng)機(jī)， 大幅減少了電動(dòng)機(jī)的發(fā)熱 和耗電量，實(shí)現(xiàn)連續(xù)運(yùn)行*。 |
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可實(shí)現(xiàn)高頻度運(yùn)行與連續(xù)驅(qū)動(dòng)*電動(dòng)機(jī)。
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■搭配高減速比，仍備有一定的速度區(qū)間，確保晶棒在生長(zhǎng)提拉過(guò)程和生長(zhǎng)完成后繩索下放時(shí)的高、低速切換應(yīng)用。
相關(guān)產(chǎn)品
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αSTEP AZ系列 搭載新研發(fā)的ABZO編碼器，無(wú)需電池就能實(shí)現(xiàn)絕對(duì)方式的定位。 驅(qū)動(dòng)方式有脈沖序列型和可實(shí)現(xiàn)I/O控制的內(nèi)藏定位型供選擇。產(chǎn)品種類豐富。
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注意：
本資料僅供參考。選購(gòu)前請(qǐng)仔細(xì)確認(rèn)設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請(qǐng)洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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