晶圓片檢測(cè)設(shè)備
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如何縮短半導(dǎo)體晶圓片的檢測(cè)時(shí)間？ |
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過(guò)去的問(wèn)題點(diǎn)
對(duì)晶圓片進(jìn)行多角度檢測(cè)，皮帶驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)盤需要頻繁穩(wěn)定啟停。而使用伺服電動(dòng)機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)皮帶時(shí)，停止時(shí)會(huì)出現(xiàn)頻繁振動(dòng)的情況， 影響檢測(cè)效率。且圓盤慣量較大，難以進(jìn)行增益調(diào)整。 如何解決因?yàn)轭l繁啟停帶來(lái)的振動(dòng)問(wèn)題呢？ |
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混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 | 
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無(wú)微振，保持停止位置。
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伺服電動(dòng)機(jī)運(yùn)行時(shí)通過(guò)對(duì)比控制器發(fā)出的脈沖信號(hào)和驅(qū)動(dòng)器發(fā)出的反饋信號(hào)，將二者誤差控制為零，實(shí)現(xiàn)對(duì)電動(dòng)機(jī)的控制。因而在皮帶等低剛性機(jī)構(gòu)中，由于需要整定，振動(dòng)會(huì)比較明顯。而AZ系列定位時(shí)無(wú)微振，可以通過(guò)電動(dòng)機(jī)自身保持力停止，適用于皮帶機(jī)構(gòu)等低剛性機(jī)構(gòu)。
在應(yīng)用于檢測(cè)機(jī)構(gòu)時(shí)，如下圖所示，使用步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)時(shí)無(wú)需整定時(shí)間，有助于高效率檢測(cè)。
高轉(zhuǎn)矩
AZ系列的高轉(zhuǎn)矩使得到達(dá)指定的位置的時(shí)間更短，優(yōu)越的加速性和響應(yīng)性能夠有效加快工作節(jié)拍，在頻繁啟停的檢測(cè)過(guò)程中，有助于提高效率。
 無(wú)需傳感器
AZ系列采用免電池的絕對(duì)式機(jī)械編碼器。
 絕對(duì)式系統(tǒng)無(wú)需原點(diǎn)傳感器、限位傳感器等外部傳感器。因此在排線布線的設(shè)計(jì)安裝上會(huì)有更大的自由空間，省時(shí)省力，減輕成本負(fù)擔(dān)。
相關(guān)產(chǎn)品
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