半導(dǎo)體濕制程相關(guān)設(shè)備
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活用形狀連接，擺臂動作可以很順滑 |
簡易控制、提高效率 *圖片僅供示意
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擺臂工位：如何讓多段定位的控制更加平穩(wěn)？
設(shè)備：半導(dǎo)體濕制程相關(guān)設(shè)備工位：擺臂工位 解決方案：步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 ●形狀連接功能 痛點：在對晶圓等進行涂膠、顯影等作業(yè)時，常會遇到運行不夠平穩(wěn)。 而運動過程中，通過實時監(jiān)控并重新修改數(shù)據(jù)的控制難題難以克服， 進而導(dǎo)致如涂膠等作業(yè)不勻，加劇了廢品率。 |
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步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 |
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AZ系列形狀連接功能，讓運動控制更絲滑
■形狀連接運行
不停止電動機運行，繼續(xù)執(zhí)行“結(jié)合數(shù)據(jù)”中設(shè)定的運行數(shù)據(jù)。過程中如有設(shè)定為“無結(jié)合”的運行數(shù)據(jù)，則會執(zhí)行存儲數(shù)據(jù)運行至該運行數(shù)據(jù)，使電動機停止。
● 使用示例
在確定的位置改變速度時，運行數(shù)據(jù)的設(shè)定
查看設(shè)定演示視頻：
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僅需一個IO，上位控制更輕松
■降低控制難度，提升效率使用αSTEP AZ系列步進電動機的內(nèi)藏定位功能，使用“形狀連接”只需發(fā)送一個I/O信號即可實現(xiàn)復(fù)雜動作。
無需頻繁讀取和寫入，節(jié)省大量的程序控制量，減輕上位程序負擔。
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多樣化的監(jiān)控可視化功能，調(diào)試·使用·維護更安心
■波形監(jiān)視
直觀對比規(guī)劃軌跡與電動機實際動作，針對性的快速調(diào)試。
?點此查看詳細介紹
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■預(yù)知保全·IoT
AZ系列不僅能監(jiān)控位置、速度，還能監(jiān)控溫度、負載、運行距離、電源的狀態(tài)等狀態(tài)信息，實現(xiàn)“預(yù)知保全”。
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AZ系列不僅能監(jiān)控位置、速度，還能監(jiān)控溫度、負載、運行距離、電源的狀態(tài)等狀態(tài)信息，實現(xiàn)“預(yù)知保全”。
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相關(guān)產(chǎn)品
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?步進伺服混合控制系統(tǒng)αSTEP AZ系列 |
注意：
本資料僅供參考。選購前請仔細確認設(shè)備需求和產(chǎn)品規(guī)格。
如需幫助，請洽詢本公司客戶咨詢中心（電話：400-820-6516）。
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